Приказ Минтруда России от 03.02.2014 N 69н (ред. от 12.12.2016) "Об утверждении профессионального стандарта Инженер-технолог в области производства наногетероструктурных СВЧ-монолитных интегральных схем (Зарегистрировано в Минюсте России 20.03.2014 N 31666)"
МИНИСТЕРСТВО ТРУДА И СОЦИАЛЬНОЙ ЗАЩИТЫ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ПРИКАЗ
от 3 февраля 2014 г. N 69н
ОБ УТВЕРЖДЕНИИ ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО СТАНДАРТА
"ИНЖЕНЕР-ТЕХНОЛОГ В ОБЛАСТИ ПРОИЗВОДСТВА
НАНОГЕТЕРОСТРУКТУРНЫХ СВЧ-МОНОЛИТНЫХ
ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ"
В соответствии с пунктом 22 Правил разработки, утверждения и применения профессиональных стандартов, утвержденных постановлением Правительства Российской Федерации от 22 января 2013 г. N 23 (Собрание законодательства Российской Федерации, 2013, N 4, ст. 293), приказываю:
Утвердить прилагаемый профессиональный стандарт "Инженер-технолог в области производства наногетероструктурных СВЧ-монолитных интегральных схем".
Министр
М.А.ТОПИЛИН
Утвержден
приказом Министерства труда
и социальной защиты
Российской Федерации
от 3 февраля 2014 г. N 69н
ПРОФЕССИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ
ИНЖЕНЕР-ТЕХНОЛОГ
В ОБЛАСТИ ПРОИЗВОДСТВА НАНОГЕТЕРОСТРУКТУРНЫХ СВЧ-МОНОЛИТНЫХ
ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
┌────────────────┐
│ 26 │
└────────────────┘
Регистрационный
номер
I. Общие сведения
Производство интегральных схем, микросборок и ┌──────────────┐ микромодулей │ 40.007 │ _________________________________________________________ └──────────────┘ (наименование вида профессиональной деятельности) Код
Основная цель вида профессиональной деятельности:
┌─────────────────────────────────────────────────────────────────────────┐ │Производство наногетероструктурных сверхвысокочастотных (СВЧ) монолитных │ │интегральных схем (МИС СВЧ) с использованием нанотехнологий │ └─────────────────────────────────────────────────────────────────────────┘
Группа занятий:
|
2111 |
Физики |
2113 |
Химики |
|
(код ОКЗ <1>) |
(наименование) |
(код ОКЗ) |
(наименование) |
--------------------------------
<1> Общероссийский классификатор занятий.
Отнесение к видам экономической деятельности:
|
26.11.3 |
Производство интегральных электронных схем |
|
(код ОКВЭД <2>) |
(наименование вида экономической деятельности) |
--------------------------------
<2> Общероссийский классификатор видов экономической деятельности.
II. Описание трудовых функций, входящих в профессиональный стандарт (функциональная карта вида профессиональной деятельности)
|
Обобщенные трудовые функции |
Трудовые функции |
||||
|
код |
наименование |
уровень квалификации |
наименование |
код |
уровень (подуровень) квалификации |
|
A |
Моделирование, разработка и внедрение новых технологических процессов производства наногетероструктурных МИС СВЧ |
7 |
Анализ мирового опыта применения материалов наногетероструктурной электроники СВЧ |
A/01.7 |
7 |
|
Разработка планов создания и модернизации технологических линий для освоения новых направлений в наногетероструктурной электронике СВЧ |
A/02.7 |
||||
|
Подготовка технического задания (ТЗ) на проведение опытно-технологических работ (ОТР) по разработке новых технологических процессов производства МИС СВЧ |
A/03.7 |
||||
|
Моделирование наногетероструктур, активных и пассивных элементов, технологических операций изготовления гетероструктурных МИС СВЧ с использованием технологических систем моделирования и проектирования элементов и технологий полупроводниковых ИС, в том числе МИС СВЧ, изготавливаемых на основе гетероструктур (TCAD) |
A/04.7 |
||||
|
Подготовка технического задания (ТЗ) на разработку маршрутных и операционных карт производства МИС СВЧ на основе разработанной конструкторской документации (КД), документации на отработанные технологические процессы (ТП) и данных моделирования |
A/05.7 |
||||
|
B |
Подготовка комплекта технологической документации (ТД) производства наногетероструктурных МИС СВЧ, организация и сопровождение технологического процесса производства |
7 |
Разработка комплекта технологической документации для производства МИС СВЧ на основе ТЗ и нормативной документации |
B/01.7 |
7 |
|
Планирование и организация сопровождения технологического процесса производства МИС СВЧ |
B/02.7 |
||||
|
Разработка методики входного, межоперационного и выходного контроля при производстве наногетероструктурных МИС СВЧ |
B/03.7 |
||||
|
Реализация технологии на основе электронной литографии |
B/04.7 |
||||
|
Реализация технологии на основе проекционной литографии |
B/5.7 |
||||
|
Организация работы по повышению выхода годных МИС, разработка ТЗ для корректировки технологических операций |
B/6.7 |
||||
|
C |
Осуществление проектирования и изготовления методами эпитаксии наногетероструктур для ОТР и производства МИС СВЧ |
7 |
Проведение расчета параметров технологического процесса эпитаксиального выращивания наногетероструктур на подложках, применяемых в СВЧ-электронике |
C/1.7 |
7 |
|
Подготовка и квалификация машин к росту продукции |
C/2.7 |
||||
|
Определение методик тестирования качества эпитаксиальных слоев |
C/3.7 |
||||
|
Проведение статистического анализа поведения установки во время исследования, статистическое сопровождение по группам продукции и контроль качества по спецификации заказчика |
C/4.7 |
||||
|
D |
Проведение ОТР по разработке базовых технологических процессов МИС СВЧ |
7 |
Анализ КД и ТЗ на проведение ОТР, оценка достижимости заданных параметров МИС СВЧ по выбираемой или заданной технологии |
D/1.7 |
7 |
|
Определение базовых технологических процессов, применяемых материалов и оборудования для изготовления опытных образцов МИС СВЧ |
D/2.7 |
||||
|
Согласование принимаемых решений с представителями заказчика, конструкторскими подразделениями, метрологической службой и другими смежными структурами организации |
D/3.7 |
||||
|
Управление командой по реализации ОРТ |
D/4.7 |
||||
III. Характеристика обобщенных трудовых функций
3.1. Обобщенная трудовая функция
|
Наименование |
Моделирование, разработка и внедрение новых технологических процессов производства наногетероструктурных МИС СВЧ |
Код |
A |
Уровень квалификации |
7 |
|
Происхождение обобщенной трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Возможные наименования должностей |
Ведущий инженер-технолог Инженер-технолог |
|
Требования к образованию и обучению |
Высшее образование - специалитет, магистратура |
|
Требования к опыту практической работы |
Не менее одного года работы в должности инженера-технолога |
|
Особые условия допуска к работе |
Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований) в установленном законодательством порядке <1>; инструктаж по безопасному ведению работ |
--------------------------------
<1> Приказ Минздравсоцразвития России от 12 апреля 2011 г. N 302н "Об утверждении перечней вредных и (или) опасных производственных факторов и работ, при выполнении которых проводятся обязательные предварительные и периодические медицинские осмотры (обследования), и Порядка проведения обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров (обследований) работников, занятых на тяжелых работах и на работах с вредными и (или) опасными условиями труда" (зарегистрирован в Минюсте России 21 октября 2011 г., регистрационный N 22111), с изменением, внесенным приказом Минздрава России от 15 мая 2013 г. N 296н (зарегистрирован в Минюсте России 3 июля 2013 г., регистрационный N 28970).
Дополнительные характеристики
|
Наименование документа |
Код |
Наименование базовой группы, должности (профессии) или специальности |
|
ОКЗ |
2111 |
Физики, химики и специалисты родственных профессий. Физики |
|
2113 |
Физики, химики и специалисты родственных профессий. Химики |
|
|
ЕКС <2> |
- |
Инженер-технолог |
|
ОКСО <3> |
5507002 |
Электроника и микроэлектроника |
|
01.04.04 |
Физическая электроника |
--------------------------------
<2> Единый квалификационный справочник должностей руководителей, специалистов и служащих.
<3> Общероссийский классификатор специальностей по образованию.
3.1.1. Трудовая функция
|
Наименование |
Анализ мирового опыта применения материалов наногетероструктурной электроники СВЧ |
Код |
A/01.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Трудовые действия |
Анализ применения материалов в интегральной электронике СВЧ, основанной на гетероэпитаксиальных структурах |
|
Анализ физических и технологических принципов разработки и изготовления активных элементов с применением новых и традиционных материалов СВЧ (гетеротранзисторов с высокой подвижностью электронов, низкобарьерных диодов и др.) |
|
|
Прогноз применения материалов в наногетероструктурной электронике для определения политики организации в области производства наногетероструктурных МИС СВЧ |
|
|
Необходимые умения |
Делать обзоры по отечественным и иностранным источникам информации |
|
Необходимые знания |
Технический английский язык |
|
Основы материаловедения полупроводников и гетероструктур |
|
|
Технология наногетероструктурных МИС СВЧ |
|
|
Технологическое оборудование для производства МИС СВЧ |
|
|
Технико-экономические и прогнозные исследования в отрасли |
|
|
Другие характеристики |
Ответственность за прогнозные оценки развития производства |
|
Деятельность, направленная на решение нетиповых задач технологического характера |
3.1.2. Трудовая функция
|
Наименование |
Разработка планов создания и модернизации технологических линий для освоения новых направлений в наногетероструктурной электронике СВЧ |
Код |
A/02.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Трудовые действия |
Анализ тенденций развития технологии, технологического оборудования в области наногетероструктурной электроники СВЧ |
|
Разработка технически и экономически обоснованных планов развития новых производств или модернизации существующих для освоения новых направлений в производстве МИС СВЧ |
|
|
Представление планов развития для обсуждения и принятия на научно-техническом совете (НТС) |
|
|
Необходимые умения |
Делать обзоры по отечественным и иностранным источникам информации |
|
Готовить планы развития |
|
|
Готовить презентации |
|
|
Необходимые знания |
Технический английский язык |
|
Технология наногетероструктурных МИС СВЧ, исследования в новых направлениях |
|
|
Технологическое оборудование для производства МИС СВЧ |
|
|
Технико-экономические и прогнозные исследования в отрасли |
|
|
Другие характеристики |
Ответственность за прогнозные оценки развития производства |
|
Деятельность, направленная на решение новых задач технологического характера |
3.1.3. Трудовая функция
|
Наименование |
Подготовка технического задания (ТЗ) на проведение опытно-технологических работ (ОТР) по разработке новых технологических процессов производства МИС СВЧ |
Код |
A/03.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Трудовые действия |
Анализ прогнозных оценок тенденций развития технологии, технологического оборудования в области наногетероструктурной электроники СВЧ |
|
Постановка целей и задач проведения опытно-технологических работ по разработке новых ТП производства МИС СВЧ |
|
|
Декомпозиция задач ОТР, выделение базовых ТП и установление временных рамок и последовательности их разработки |
|
|
Представление планов развития для обсуждения и принятия на НТС |
|
|
Формулирование ТЗ для определенной последовательности разработки базовых технологических процессов |
|
|
Оформление ТЗ на ОТР |
|
|
Представление и защита разработанных ТЗ на НТС |
|
|
Необходимые умения |
Формулировать цели, задачи, разрабатывать и согласовывать ТЗ на проведение связанных системно ОТР |
|
Необходимые знания |
Физика и технология наногетероструктурных МИС СВЧ, исследования в новых направлениях |
|
Системный анализ |
|
|
Методы декомпозиции сложных задач |
|
|
Технологическое оборудование для производства МИС СВЧ |
|
|
Технико-экономическое обоснование развития отрасли |
|
|
Стандарты на проведение опытно-технологических работ |
|
|
Другие характеристики |
Ответственность за развитие производства |
|
Деятельность, направленная на решение новых задач технологического характера |
3.1.4. Трудовая функция
|
Наименование |
Моделирование наногетероструктур, активных и пассивных элементов, технологических операций изготовления гетероструктурных МИС СВЧ с использованием технологических систем моделирования и проектирования элементов и технологий полупроводниковых ИС, в том числе МИС СВЧ, изготавливаемых на основе гетероструктур (TCAD) |
Код |
A/04.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Трудовые действия |
Анализ требований КД на МИС СВЧ |
|
Выбор на основе опыта и в соответствии с ТЗ и КД материалов и типа наногетероструктуры |
|
|
Моделирование наногетероструктур, определение их параметров, необходимых для расчета активных элементов (СВЧ-транзисторов, диодов) с использованием TCAD и других программных продуктов |
|
|
Моделирование технологического процесса изготовления активных элементов, определение параметров ТП на основе данных моделирования |
|
|
Моделирование технологических операций изготовления пассивных элементов - линий передачи, конденсаторов, резисторов, мостов и др. |
|
|
Отчет о результатах моделирования, согласование его с руководителем и передача технологу для использования при разработке ТД |
|
|
Необходимые умения |
Оценивать технические и экономические риски при выборе технологических процессов изготовления МИС СВЧ |
|
Оценивать временные затраты на стандартные и нестандартные подходы при производстве МИС СВЧ |
|
|
Необходимые знания |
Основы физики гетероэпитаксиальных структур и приборов |
|
Параметры полупроводниковых материалов |
|
|
Современные системы моделирования и проектирования СВЧ-устройств и МИС СВЧ |
|
|
Основы технологии МИС СВЧ |
|
|
Методы сквозного проектирования МИС СВЧ |
|
|
Единая система технологической документации (ЕСТД), нормативная документация, регламенты, принятые в организации |
|
|
ГОСТ по постановке продукции на производство |
|
|
Другие характеристики |
Самостоятельная профессиональная деятельность, предполагающая ответственность за выбор типа гетероструктур и активных элементов, как результат выполнения собственных работ |
|
Деятельность, направленная на подготовку заданий на конструирование МИС СВЧ |
3.1.5. Трудовая функция
|
Наименование |
Подготовка технического задания (ТЗ) на разработку маршрутных и операционных карт производства МИС СВЧ на основе разработанной конструкторской документации (КД), документации на отработанные технологические процессы (ТП) и данных моделирования |
Код |
A/05.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Трудовые действия |
Анализ требований КД на МИС СВЧ, а также данных моделирования наногетероструктур, активных и пассивных элементов |
|
Оценка на основе опыта и экспериментальных данных реализуемости технологии изготовления на МИС СВЧ и возможных рисков |
|
|
Выбор на основе нормативных документов ТП, в наиболее полном виде обеспечивающих требования к параметрам МИС СВЧ |
|
|
Составление ТЗ на разработку ТД с учетом требований КД |
|
|
Согласование ТЗ в соответствии с регламентом, принятым в организации |
|
|
Необходимые умения |
Оценивать технические и экономические риски при выборе технологических процессов изготовления МИС СВЧ |
|
Оценивать временные затраты на стандартные и нестандартные подходы при производстве МИС СВЧ |
|
|
Составлять согласно стандартам технические задания на разработку ТД МИС СВЧ |
|
|
Оформлять ТД для сопровождения производства МИС СВЧ |
|
|
Взаимодействовать с коллективами цехов, участков |
|
|
Необходимые знания |
Основы физики гетероэпитаксиальных структур и приборов |
|
Параметры полупроводниковых материалов |
|
|
Современные системы моделирования и проектирования СВЧ-устройств и МИС СВЧ |
|
|
Основы технологии МИС СВЧ |
|
|
Методы сквозного проектирования МИС СВЧ |
|
|
ЕСТД, нормативная документация, регламенты, принятые в организации |
|
|
Стандарты по постановке продукции на производство |
|
|
Другие характеристики |
Самостоятельная профессиональная деятельность, предполагающая ответственность за выбор типа гетероструктур и активных элементов, как результат выполнения собственных работ |
|
Деятельность, направленная на подготовку заданий на разработку технологических процессов МИС СВЧ |
3.2. Обобщенная трудовая функция
|
Наименование |
Подготовка комплекта технологической документации (ТД) производства наногетероструктурных МИС СВЧ, организация и сопровождение технологического процесса производства |
Код |
B |
Уровень квалификации |
7 |
|
Происхождение обобщенной трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Возможные наименования должностей |
Ведущий инженер-технолог Инженер-технолог |
|
Требования к образованию и обучению |
Высшее образование - специалитет, магистратура |
|
Требования к опыту практической работы |
Не менее одного года работы в должности инженера-технолога |
|
Особые условия допуска к работе |
Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований) в установленном законодательством порядке; инструктаж по безопасному ведению работ |
Дополнительные характеристики
|
Наименование документа |
Код |
Наименование базовой группы, должности (профессии) или специальности |
|
ОКЗ |
2111 |
Физики, химики и специалисты родственных профессий. Физики |
|
2113 |
Физики, химики и специалисты родственных профессий. Химики |
|
|
ЕКС |
- |
Инженер-технолог |
|
ОКСО |
5507002 |
Электроника и микроэлектроника |
|
01.04.04 |
Физическая электроника |
3.2.1. Трудовая функция
|
Наименование |
Разработка комплекта технологической документации для производства МИС СВЧ на основе ТЗ и нормативной документации |
Код |
B/01.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Трудовые действия |
Анализ КД и ТЗ на разработку МИС СВЧ в части требований к технологии производства |
|
Обоснование выбора маршрутной технологии |
|
|
Разработка маршрутных карт ТП изготовления МИС СВЧ |
|
|
Расчет технологических режимов операций |
|
|
Разработка операционных карт ТП |
|
|
Оформление технологической документации на ТП, согласование ее в соответствии с установленными регламентами |
|
|
Необходимые умения |
Работать с нормативной документацией |
|
Работать в системе автоматизации проектирования (САПР) подготовки ТД для производства МИС СВЧ |
|
|
Необходимые знания |
Технология производства МИС СВЧ |
|
Стандарты для подготовки технологической документации |
|
|
САПР подготовки ТД |
|
|
Другие характеристики |
Ответственность за качество технологической документации на производство МИС СВЧ |
3.2.2. Трудовая функция
|
Наименование |
Планирование и организация сопровождения технологического процесса производства МИС СВЧ |
Код |
B/02.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Трудовые действия |
Тестовый запуск, сопровождение и контроль выполнения технологических операций в ходе изготовления экспериментальной партии МИС СВЧ |
|
Анализ данных измерения параметров тестовых структур МИС СВЧ, внесение предложений по коррекции режимов в технологическую документацию |
|
|
Сопровождение установившегося технологического процесса производства МИС СВЧ: формирование баз данных измерения и контроля, составление протоколов и актов контроля параметров МИС |
|
|
Анализ данных измерений и контроля, предложения об изменении параметров ТП |
|
|
Необходимые умения |
Проводить анализ технологической документации |
|
Работать на части технологического оборудования |
|
|
Необходимые знания |
Стандарты на ТД: нормативная документация отрасли, организации на технологические процессы |
|
Основы технологии МИС СВЧ |
|
|
Система менеджмента качества (СМК) |
|
|
Другие характеристики |
Профессиональная деятельность, направленная на согласование работ группы инженеров-конструкторов и инженеров-технологов |
3.2.3. Трудовая функция
|
Наименование |
Разработка методики входного, межоперационного и выходного контроля при производстве наногетероструктурных МИС СВЧ |
Код |
B/03.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Трудовые действия |
Анализ ТЗ в части требований к параметрам исходных материалов и выполнения отдельных операций при изготовлении МИС СВЧ |
|
Разработка методик, выбор оборудования входного контроля материалов, используемых в производстве МИС СВЧ: подложек, металлов, диэлектриков и др. |
|
|
Разработка методик, выбор оборудования межоперационного контроля на тестовых структурах и элементах МИС СВЧ |
|
|
Разработка методик, выбор оборудования выходного контроля на тестовых структурах и МИС СВЧ |
|
|
Руководство проведением всех видов контроля |
|
|
Формирование базы данных всех видов контроля |
|
|
Статистическая обработка данных контроля с оформлением протоколов и заключений |
|
|
Необходимые умения |
Работать на оборудовании входного, межоперационного и выходного контроля при производстве наногетероструктурных МИС СВЧ |
|
Необходимые знания |
Методы контроля параметров МИС СВЧ и технологических процессов |
|
Другие характеристики |
Ответственность за контроль качества МИС СВЧ |
3.2.4. Трудовая функция
|
Наименование |
Реализация технологии на основе электронной литографии |
Код |
B/04.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Трудовые действия |
Анализ КД и ТЗ в части требований к реализации ТП на основе электронной литографии |
|
Техническая проверка исходных файлов топологии МИС СВЧ для проведения электронной литографии |
|
|
Руководство подготовкой подложек для проведения операций экспонирования фоторезистов на установке электронной литографии |
|
|
Подготовка установки электронной литографии к проведению операций прорисовки топологии |
|
|
Руководство реализацией операций резист-процессинга после экспонирования подложек |
|
|
Измерение параметров тестовых структур и элементов МИС СВЧ на подложке, оформление протокола и внесение данных в базу данных участка электронной литографии |
|
|
Передача подложки на следующий участок в соответствии с маршрутной картой |
|
|
Регламентные работы по тестированию установки электронной литографии |
|
|
Необходимые умения |
Работать с нормативной документацией |
|
Работать в САПР подготовки ТД для производства МИС СВЧ |
|
|
Необходимые знания |
Методы электронной литографии |
|
Технология производства МИС СВЧ на основе электронной литографии |
|
|
Стандарты для подготовки технологической документации |
|
|
САПР подготовки файлов топологии для электронной литографии |
|
|
Другие характеристики |
Ответственность за качество ТП, основанного на электронной литографии |
3.2.5. Трудовая функция
|
Наименование |
Реализация технологии на основе проекционной литографии |
Код |
B/05.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Трудовые действия |
Анализ КД и ТЗ в части требований к реализации ТП на основе проекционной литографии |
|
Техническая проверка исходных файлов топологии МИС СВЧ для изготовления фотошаблонов |
|
|
Руководство изготовлением комплекта фотошаблонов в соответствии с ТЗ |
|
|
Руководство подготовкой подложек для проведения последовательности операций ТП, основанного на проекционной литографии (фотолитографии) |
|
|
Подготовка установки проекционной литографии к проведению операций |
|
|
Руководство реализацией последовательности операций изготовления МИС СВЧ после экспонирования подложек |
|
|
Измерение параметров тестовых структур и элементов МИС СВЧ на подложке, оформление протокола и внесение данных в базу данных участка проекционной литографии |
|
|
Передача подложки на следующий участок в соответствии с маршрутной картой |
|
|
Регламентные работы по тестированию установок проекционной литографии |
|
|
Необходимые умения |
Работать с нормативной документацией |
|
Работать в САПР подготовки ТД для производства МИС СВЧ |
|
|
Необходимые знания |
Технология производства МИС СВЧ на основе проекционной литографии |
|
Стандарты для подготовки технологической документации |
|
|
САПР подготовки файлов топологии для проекционной литографии |
|
|
Другие характеристики |
Ответственность за качество ТП проекционной литографии |
3.2.6. Трудовая функция
|
Наименование |
Организация работы по повышению выхода годных МИС, разработка ТЗ для корректировки технологических операций |
Код |
B/06.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Трудовые действия |
Разработка методик статистической обработки данных по уровню отклонений параметров и брака на пластинах наногетероструктурных МИС СВЧ |
|
Анализ причин отклонений, отказов и связывание их с исходными параметрами материалов гетероструктур, технологических операций, топологии |
|
|
Составление программы дополнительных исследований и измерений |
|
|
Подготовка рекомендации по устранению причин отклонений параметров и брака МИС СВЧ |
|
|
Разработка ТЗ для корректировки технологических операций и других мероприятий на основе анализа причин отклонений параметров и отказов |
|
|
Необходимые умения |
Разрабатывать и владеть методиками статистической обработки данных |
|
Владеть методиками межоперационного контроля |
|
|
Анализировать результаты экспериментов |
|
|
Разрабатывать ТЗ |
|
|
Владеть методологией СМК |
|
|
Необходимые знания |
Методы планирования эксперимента |
|
Методы и методики статистического анализа |
|
|
Теория допусков и теория чувствительности |
|
|
Другие характеристики |
Ответственность за процент выхода годных МИС |
|
Деятельность, направленная на решение задач повышения эффективности организации |
3.3. Обобщенная трудовая функция
|
Наименование |
Осуществление проектирования и изготовления методами эпитаксии наногетероструктур для ОТР и производства МИС СВЧ |
Код |
C |
Уровень квалификации |
7 |
|
Происхождение обобщенной трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Возможные наименования должностей |
Ведущий инженер-технолог Инженер-технолог |
|
Требования к образованию и обучению |
Высшее образование - специалитет, магистратура |
|
Требования к опыту практической работы |
Не менее одного года работы в должности инженера-технолога |
|
Особые условия допуска к работе |
Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований) в установленном законодательством порядке; инструктаж по безопасному ведению работ |
Дополнительные характеристики
|
Наименование документа |
Код |
Наименование базовой группы, должности (профессии) или специальности |
|
ОКЗ |
2111 |
Физики, химики и специалисты родственных профессий. Физики |
|
2113 |
Физики, химики и специалисты родственных профессий. Химики |
|
|
ЕКС |
- |
Инженер-технолог |
|
ОКСО |
5507002 |
Электроника и микроэлектроника |
|
01.04.04 |
Физическая электроника, технические науки |
3.3.1. Трудовая функция
|
Наименование |
Проведение расчета параметров технологического процесса эпитаксиального выращивания наногетероструктур на подложках, применяемых в СВЧ-электронике |
Код |
C/01.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Трудовые действия |
Анализ ТЗ на разработку МИС СВЧ в части требований к материалам и типу наногетероструктуры |
|
Обоснование выбора машины для проведения эпитаксии |
|
|
Расчет технологических режимов выращивания эпитаксиальных слоев |
|
|
Моделирование роста гетероструктур с применением TCAD |
|
|
Разработка технологической документации на изготовление гетероструктур |
|
|
Необходимые умения |
Работать на машинах молекулярно-лучевой эпитаксии |
|
Необходимые знания |
Технический английский язык |
|
Основы материаловедения полупроводников и гетероструктур |
|
|
Методы эпитаксии для производства гетероструктур, применяемых в наноэлектронике СВЧ |
|
|
Работа с установками сверхвысокого вакуума |
|
|
Другие характеристики |
Ответственность за качество исходных материалов для МИС СВЧ |
3.3.2. Трудовая функция
|
Наименование |
Подготовка и квалификация машин к росту продукции |
Код |
C/02.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Трудовые действия |
Выполнение регламента подготовки машины к проведению ТП выращивания наногетероструктуры |
|
Подготовка материалов для проведения эпитаксии |
|
|
Проведение роста наногетероструктур в соответствии с ТП |
|
|
Необходимые умения |
Работать на машинах молекулярно-лучевой эпитаксии |
|
Необходимые знания |
Технический английский язык |
|
Основы материаловедения полупроводников и гетероструктур |
|
|
Технология молекулярно-лучевой эпитаксии |
|
|
Работа с установками сверхвысокого вакуума |
|
|
Другие характеристики |
Ответственность за качество исходных материалов для МИС СВЧ |
3.3.3. Трудовая функция
|
Наименование |
Определение методик тестирования качества эпитаксиальных слоев |
Код |
C/03.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Трудовые действия |
Выбор методов и технических средств для тестирования эпитаксиальных слоев наногетероструктур |
|
Измерение основных параметров в процессе эпитаксии |
|
|
Измерение параметров выращенных структур при завершении процесса эпитаксии |
|
|
Формирование базы данных результатов тестирования и измерения |
|
|
Необходимые умения |
Работать с приборами и установками измерения параметров наногетероструктур |
|
Необходимые знания |
Методы измерения и тестирования параметров наногетероструктур |
|
Основы материаловедения полупроводников и гетероструктур |
|
|
Другие характеристики |
Ответственность за качество исходных материалов для МИС СВЧ |
3.3.4. Трудовая функция
|
Наименование |
Проведение статистического анализа поведения установки во время исследования, статистическое сопровождение по группам продукции и контроль качества по спецификации заказчика |
Код |
C/04.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Трудовые действия |
Формирование базы данных параметров установки во время реализации процесса роста |
|
Анализ путем статистической обработки точности выполнения операций и результаты роста |
|
|
Анализ данных статистической обработки об отклонениях в реализации роста и выработка корректирующих действий в следующей загрузке |
|
|
Оформление сдаточных документов с сертификатом наногетероструктур для заказчика |
|
|
Необходимые умения |
Проводить статистический анализ |
|
Оформлять протоколы и сертификаты (паспорта) продукции |
|
|
Необходимые знания |
Методы статистической обработки данных |
|
Теория и практика управления технологическими процессами |
|
|
Другие характеристики |
Ответственность за качество исходных материалов для МИС СВЧ |
3.4. Обобщенная трудовая функция
|
Наименование |
Проведение ОТР по разработке базовых технологических процессов МИС СВЧ |
Код |
D |
Уровень квалификации |
7 |
|
Происхождение обобщенной трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Возможные наименования должностей |
Ведущий инженер-технолог |
|
Требования к образованию и обучению |
Высшее образование - специалитет, магистратура |
|
Требования к опыту практической работы |
Не менее одного года работы в должности инженера-технолога |
|
Особые условия допуска к работе |
Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований) в установленном законодательством порядке; инструктаж по безопасному ведению работ |
Дополнительные характеристики
|
Наименование документа |
Код |
Наименование базовой группы, должности (профессии) или специальности |
|
ОКЗ |
2111 |
Физики, химики и специалисты родственных профессий. Физики |
|
2113 |
Физики, химики и специалисты родственных профессий. Химики |
|
|
ЕКС |
- |
Инженер-технолог |
|
ОКСО |
5507002 |
Электроника и микроэлектроника |
|
01.04.04 |
Физическая электроника |
3.4.1. Трудовая функция
|
Наименование |
Анализ КД и ТЗ на проведение ОТР, оценка достижимости заданных параметров МИС СВЧ по выбираемой или заданной технологии |
Код |
D/01.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Трудовые действия |
Анализ экспериментальных данных предыдущих разработок |
|
Оценка достижимости параметров путем моделирования основных электрических и эксплуатационных параметров, а также технологии изготовления активных и пассивных элементов МИС СВЧ |
|
|
Организация проведения экспертных оценок достижимости заданных параметров по ТЗ |
|
|
Разработка предложений о коррекции ТЗ на ОТР (в случае критичности достижения отдельных параметров) |
|
|
Необходимые умения |
Разрабатывать и владеть методами моделирования элементов и МИС в СВЧ-диапазоне |
|
Владеть методиками экспертных оценок |
|
|
Владеть методологией СМК |
|
|
Необходимые знания |
Методы моделирования активных и пассивных элементов МИС СВЧ |
|
Методики экспертных оценок |
|
|
Другие характеристики |
Ответственность за корректность оценки ТЗ на реализуемость |
3.4.2. Трудовая функция
|
Наименование |
Определение базовых технологических процессов, применяемых материалов и оборудования для изготовления опытных образцов МИС СВЧ |
Код |
D/02.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Трудовые действия |
Анализ технического задания на ОТР, определение базовых технологических процессов для реализации целей ОТР |
|
Обоснование применения материалов, используемых при производстве МИС СВЧ |
|
|
Разработка перечня оборудования для реализации технологического процесса производства МИС |
|
|
Разработка технико-экономического обоснования выбранных решений |
|
|
Защита на НТС обоснованных технологических решений реализации ОТР |
|
|
Необходимые умения |
Оформлять технические решения в виде пояснительной записки, презентации, согласовывать их в соответствии с установленным регламентом и представлять на НТС |
|
Необходимые знания |
Системный анализ |
|
Нормативная документация и описания базовых технологических процессов |
|
|
Основы материаловедения применительно к электронике СВЧ |
|
|
Методики проведения технико-экономических исследований при производстве высокотехнологичной продукции |
|
|
Другие характеристики |
Профессиональная деятельность, направленная на развитие инновационных разработок |
3.4.3. Трудовая функция
|
Наименование |
Согласование принимаемых решений с представителями заказчика, конструкторскими подразделениями, метрологической службой и другими смежными структурами организации |
Код |
D/03.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Трудовые действия |
Разработка комплекса согласованных мероприятий по улучшению параметров технологического процесса и МИС СВЧ |
|
Системный анализ влияния принимаемых согласованных решений на качественное и количественное улучшение основных параметров технологического процесса и МИС СВЧ |
|
|
Необходимые умения |
Принимать согласованные решения |
|
Владеть методологией СМК |
|
|
Необходимые знания |
Системный анализ |
|
Теория и практика принятия оптимальных решений |
|
|
Процессный метод системы менеджмента качества |
|
|
Другие характеристики |
Ответственность за конечный результат, удовлетворяющий заказчика и имеющий перспективу производства электронных компонент СВЧ-техники |
3.4.4. Трудовая функция
|
Наименование |
Управление командой по реализации ОТР |
Код |
D/04.7 |
Уровень (подуровень) квалификации |
7 |
|
Происхождение трудовой функции |
Оригинал |
X |
Заимствовано из оригинала |
||
|
Код оригинала |
Регистрационный номер профессионального стандарта |
||||
|
Трудовые действия |
Постановка частных задач исследовательским и производственным коллективам для достижения основного результата |
|
Контроль и оценка достижений заданных результатов |
|
|
Необходимые умения |
Декомпозировать ТЗ без потери системности |
|
Принимать согласованные решения |
|
|
Владеть методологией СМК |
|
|
Необходимые знания |
Системный анализ |
|
Теория и практика принятия оптимальных решений |
|
|
Процессный метод системы менеджмента качества |
|
|
Другие характеристики |
Ответственность за выполнение всех требований ТЗ на ОТР |
IV. Сведения об организациях - разработчиках профессионального стандарта
4.1. Ответственная организация-разработчик
┌─────────────────────────────────────────────────────────────────────────┐ │ Фонд инфраструктурных и образовательных программ (РОСНАНО) │ │ │ │ Генеральный директор Свинаренко Андрей Геннадьевич │ └─────────────────────────────────────────────────────────────────────────┘
4.2. Наименования организаций-разработчиков
|
1. |
Автономная некоммерческая организация "Национальное агентство развития квалификаций", город Москва |
|
2. |
ЗАО "Научно-производственная фирма "Микран", город Томск |
|
3. |
ОАО НИИ Полупроводниковых приборов, город Томск |
|
4. |
ООО "НПФ "Сенсерия", город Томск |
|
5. |
ООО "НПФ "Сибтроника", город Томск |
|
6. |
ООО "РИД", город Томск |
|
7. |
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" (ТУСУР), город Томск |